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由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構(gòu)來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。

滑閥泵亦分單級泵和雙級泵兩種，有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式。單級泵的極限壓力為0.4～1.3Pa;雙級泵的極限壓力為6×10-2?~10-1?Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級形式。這種泵可單獨使用，也可作其它泵的前級泵用。

滑閥泵的結(jié)構(gòu)主要由泵體及在其內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成

雙級型的滑閥泵，實際上是由兩個單級泵串聯(lián)起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。

滑閥泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高(104Pa)、抽氣量大、能在較惡劣環(huán)境下連續(xù)工作，經(jīng)久耐用等突出優(yōu)點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。